반도체 산업 분야
1. CTC (Cluster Tool Controller)
반도체소자 제조용 복합 클러스터 장비 제어 소프트웨어 (저작권 등록 컴퓨터프로그램 보호 위원회 2009-182-002572)
- 최적 생산 수율을 위한 웨이퍼 Flow 스케줄러
- 모션제어(로봇, 서보/스테핑 모터, 공압 실린더 제어)
- 공정반응 제어(온도, Gas유량, 진공압력, 플라즈마 파워 등 제어)
- 공정 데이터 실시간 자동 저장
- 이벤트, 알람 자동 저장
- 공정 Recipe 자동 운전 (3 Layer Recipe: Lot, Flow, Process)
- FA(공장자동화) 대응을 위한 SECS-GEM 기능
2. TRACK
반도체소자 제조용 TRACK 장비 제어 소프트웨어 (저작권 등록 컴퓨터프로그램 보호 위원회 2009-182-002569)
- 최적 생산 수율을 위한 웨이퍼 Flow 스케줄러
- 모션 제어(로봇, 서보/스테핑 모터, 공압 제어)
- 공정 제어(약액 분사, 온도, Spin 등 제어)
- 공정 데이터 실시간 로깅
- 이벤트, 알람 자동 저장
- 공정 Recipe 자동 운전 (3 Layer Recipe: Lot, Flow, Process)
- FA(공장자동화) 대응을 위한 SECS-GEM 기능
3. FURNACE
반도체소자 제조용 FURNACE 장비 제어 소프트웨어(저작권 등록 컴퓨터프로그램 보호 위원회 2009-182-002571, 2009-182-002573)
- 모션 제어(로봇, 서보/스테핑 모터, 공압 제어)
- 공정반응 제어(온도, Gas 유량, 진공 압력, 플라즈마 파워 등 제어)
- 공정 데이터 실시간 로깅
- 이벤트, 알람 자동 저장
- FA(공장자동화) 대응을 위한 SECS-GEM 기능
4. Stand-Alone PMC (Process Module Controller)
반도체 제조용 Stand-Alone Type 장비 제어 소프트웨어: CVD, PVD, ETCHER, SPUTTER, ALD, Wafer Bonder, 기타
5. LAMINATOR
반도 제조 후공정의 Wafer Tape Laminator 장비, Mounting 장비용 소프트웨어
6. Reflow VPS
Reflow 장비의 가상프로파일 시스템 소프트웨어
7. Utility Moitoring FDC
Utility 모니터링용 FDC 데이터 수집 소프트웨어
8. MASK Aligner
반도체 포토공정의 Mask Aligner 장비 제어용 소프트웨어
