반도체 산업 분야

​1. CTC (Cluster Tool Controller)

반도체소자 제조용 복합 클러스터 장비 제어 소프트웨어 (저작권 등록 컴퓨터프로그램 보호 위원회 2009-182-002572)

• 최적 생산 수율을 위한 웨이퍼 Flow 스케줄러
• 모션제어(로봇, 서보/스테핑 모터, 공압 실린더 제어)
• 공정반응 제어(온도, Gas유량, 진공압력, 플라즈마 파워 등 제어)
• 공정 데이터 실시간 자동 저장
• 이벤트, 알람 자동 저장
• 공정 Recipe 자동 운전 (3 Layer Recipe: Lot, Flow, Process)
• FA(공장자동화) 대응을 위한 SECS-GEM 기능

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​2. TRACK

반도체소자 제조용 TRACK 장비 제어 소프트웨어 (저작권 등록 컴퓨터프로그램 보호 위원회 2009-182-002569)

• 최적 생산 수율을 위한 웨이퍼 Flow 스케줄러
• 모션 제어(로봇, 서보/스테핑 모터, 공압 제어)
• 공정 제어(약액 분사, 온도, Spin 등 제어)
• 공정 데이터 실시간 로깅
• 이벤트, 알람 자동 저장
• 공정 Recipe 자동 운전 (3 Layer Recipe: Lot, Flow, Process)
• FA(공장자동화) 대응을 위한 SECS-GEM 기능

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​​3. FURNACE

반도체소자 제조용 FURNACE 장비 제어 소프트웨어(저작권 등록 컴퓨터프로그램 보호 위원회 2009-182-002571, 2009-182-002573)

• 모션 제어(로봇, 서보/스테핑 모터, 공압 제어)
• 공정반응 제어(온도, Gas 유량, 진공 압력, 플라즈마 파워 등 제어)
• 공정 데이터 실시간 로깅
• 이벤트, 알람 자동 저장
• FA(공장자동화) 대응을 위한 SECS-GEM 기능

​​4. Stand-Alone PMC (Process Module Controller)

 반도체 제조용 Stand-Alone Type 장비 제어 소프트웨어: CVD, PVD, ETCHER, SPUTTER, ALD, Wafer Bonder, 기타

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​5. LAMINATOR

반도 제조 후공정의 Wafer Tape Laminator 장비, Mounting 장비용 소프트웨어

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​6. Reflow VPS

Reflow 장비의 가상프로파일 시스템 소프트웨어

​​7. Utility Moitoring FDC

Utility 모니터링용 FDC 데이터 수집 소프트웨어

​8. MASK Aligner

반도체 포토공정의 Mask Aligner 장비 제어용 소프트웨어