회사 연혁

2021

• Track형 Slingle Wafer Spin Cleanning 장비 소프트웨어 개발
• BEOS-SECS Driver 상용화

2020

• 반도체용 Auto Aligner 소프트웨어 개발
• Handler System 소프트웨어 개발

2019

• FDC-Gate 상용화
• BEOS-SECS Driver 상용화​

2018

• PLC 설비 통합 FDC 소프트웨어 개발
• MLCC Size Measure System 소프트웨어 개발

2017

• 모바일 디스플레이 레이저 컷팅 장비 소프트웨어 개발
• 반도체 생산라인용 RCS 소프트웨어 개발
• WEE 소프트웨어 개발

2016

• 모바일 디스플레이 생산용  Inline Scriber 소프트웨어 개발
• Laser Patterning 장비 소프트웨어 개발

2015

• Strip Mount 장비용 SW개발
• 모바일 디스플레이 Laser Chamfering 장비 소프트웨어 개발
• EPP Box Loader 장비 개발

2014

• 본사 이전
• FDC 소프트웨어 개발

2013

• 특허등록 : 박막 증착 장치 및 방법(10-2012-0051231호)
• Inline Track 장비 소프트웨어 개발

2012

• 기업부설연구소 설립(제 2012110056호, 한국산업기술진흥협회)
• 프로그램저작권 등록: QCM을 적용한 ALD 공정장비 제어 소프트웨어 (제 C-2012-013046 호)
• Wafer Laminater 장비 소프트웨어개발

2011

• 중기청 산학연협력 과제 수행 : ALD 장비의 공정 모니터링 및 제어시스템 개발
• 반도체 장비 소재분야 SiC Coating 장비 소프트웨어 개발
• 자동 벤딩기 소프트웨어개발

2010

• 특허등록 : 반도체 제조 클러스터 장비용 스케쥴러 (10-0957401호)
• 서울특별시 예비스타기업 선정(서울산업통상진흥원)
• 태양광 분야 고온 Furnace 제어 소프트웨어 개발
• SPUTTER 제어 소프트웨어 개발

2009

• ㈜베오스솔루션 법인설립(한양대학교 한양종합기술연구원 내)
• 프로그램 저작권 등록 5 건(반도체 전공정장비 SW)

        - Beos-CTC, Beos-Track, Beos-Furnace(Hor), Beos-Furnace(Ver),  Beos-ALD

• 2009 벤처 창업 경진대회 우수상 수상(중소기업청)
• 지식경제부 IT / SW 융합상용화과제 수행
• 벤처기업 인증