인증 현황

기업인증 

•  벤처기업확인서
•  기업부설연구소 인증서
•  벤처 창업경진대회 우수상
•  서울시 예비 스타기업 선정

프로그램 등록

• BEOS GROWER
• BEOS CTC CONTROLLER
• BEOS TRACK CONTRLLER
• BEOS ALD CONTROLLER
• BEOS FURNACE  - VERTICAL
• BEOS FURNACE - HORIZONTAL
• QCM을 적용한 ALD 공정장비 제어 소프트웨어

특허

• 박막 증착 장치 밎 방법
• 반도체 제조 클러스터 장비용 스케쥴러

---